人工晶体学报2022,Vol.51Issue(9):1673-1690,18.
4H碳化硅单晶中的位错
Dislocations in 4 H Silicon Carbide Single Crystals
摘要
关键词
4H碳化硅/位错/单晶/外延/电学性质/光学性质分类
化学化工引用本文复制引用
杨光,刘晓双,李佳君,徐凌波,崔灿,皮孝东,杨德仁,王蓉..4H碳化硅单晶中的位错[J].人工晶体学报,2022,51(9):1673-1690,18.基金项目
浙江省"尖兵""领雁"研发攻关计划(2022C01021) (2022C01021)
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国家自然科学基金重大研究计划项目(91964107) (91964107)