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基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展

欧阳佩东 衣新燕 罗添友 王文樑 李国强

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(9)：1691-1702,12.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(9)：1691-1702,12.

基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展

Research Progress of AlN-Based Filters: Materials, Devices and Applications

欧阳佩东 1衣新燕 1罗添友 2王文樑 1李国强1

作者信息

  • 1. 华南理工大学材料科学与工程学院,广州 510641
  • 2. 广州市艾佛光通科技有限公司,广州 510700
  • 折叠

摘要

关键词

AlN薄膜/体声波滤波器/材料生长/设备制造/单晶AlN的体声波谐振器

分类

数理科学

引用本文复制引用

欧阳佩东,衣新燕,罗添友,王文樑,李国强..基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展[J].人工晶体学报,2022,51(9):1691-1702,12.

基金项目

广东省重点领域研发计划(2019B010129001) （2019B010129001）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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