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准单晶硅铸锭过程中加热功率及硅料堆积孔隙率对籽晶熔化的影响

孙英龙 郑丽丽 张辉

人工晶体学报2022,Vol.51Issue(9):1755-1768,14.
人工晶体学报2022,Vol.51Issue(9):1755-1768,14.

准单晶硅铸锭过程中加热功率及硅料堆积孔隙率对籽晶熔化的影响

Effect of Heating Power and Porosity of Stacked Silicon on Seed Crystal Melting during Quasi-Single Crystalline Silicon Casting Process

孙英龙 1郑丽丽 1张辉2

作者信息

  • 1. 清华大学航天航空学院,北京 100084
  • 2. 清华大学工程物理系,北京 100084
  • 折叠

摘要

关键词

准单晶硅铸锭/加热功率/堆积孔隙率/籽晶熔化/界面形状/熔化状态

分类

数理科学

引用本文复制引用

孙英龙,郑丽丽,张辉..准单晶硅铸锭过程中加热功率及硅料堆积孔隙率对籽晶熔化的影响[J].人工晶体学报,2022,51(9):1755-1768,14.

基金项目

国家重点研发计划(2020YFB1506501) (2020YFB1506501)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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