人工晶体学报2022,Vol.51Issue(9):1755-1768,14.
准单晶硅铸锭过程中加热功率及硅料堆积孔隙率对籽晶熔化的影响
Effect of Heating Power and Porosity of Stacked Silicon on Seed Crystal Melting during Quasi-Single Crystalline Silicon Casting Process
摘要
关键词
准单晶硅铸锭/加热功率/堆积孔隙率/籽晶熔化/界面形状/熔化状态分类
数理科学引用本文复制引用
孙英龙,郑丽丽,张辉..准单晶硅铸锭过程中加热功率及硅料堆积孔隙率对籽晶熔化的影响[J].人工晶体学报,2022,51(9):1755-1768,14.基金项目
国家重点研发计划(2020YFB1506501) (2020YFB1506501)