人工晶体学报2022，Vol.51Issue(9)：1777-1784,8.
高温高压与CVD金刚石单晶衬底质量对比研究
Comparative Study on the Quality of HTHP and CVD Single Crystal Diamond Substrates
摘要
关键词
HTHP Ⅱa金刚石/HTHP Ⅰb金刚石/CVD金刚石/结晶质量/应力/等离子体刻蚀/位错密度分类
天文与地球科学引用本文复制引用
杨旖秋,刘长江,冯志红,韩晓桐,胡秀飞,李斌,彭燕,王希玮,胡小波,徐现刚,王笃福..高温高压与CVD金刚石单晶衬底质量对比研究[J].人工晶体学报,2022,51(9):1777-1784,8.基金项目
山东省重大科技创新工程项目(2019JZZY010210) （2019JZZY010210）
晶体材料国家重点实验室自主课题 （）
国防科技重点实验室基金项目 （）
山东省重大科技创新工程项目(2022CXGC010103) （2022CXGC010103）
