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基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制

郭林琪 张梅菊 金毅 王禹森 胡国胜 杨伸勇 张丛春

传感技术学报2022，Vol.35Issue(9)：P.1167-1173,7.
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传感技术学报2022，Vol.35Issue(9)：P.1167-1173,7.

基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制

郭林琪 1张梅菊 2金毅 1王禹森 1胡国胜 3杨伸勇 4张丛春4

作者信息

  • 1. 上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240
  • 2. 北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心,北京101111
  • 3. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240
  • 4. 上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜热流传感器/Pt/Pt-13Rh热电堆/塞贝克效应/高温高热流

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郭林琪,张梅菊,金毅,王禹森,胡国胜,杨伸勇,张丛春..基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制[J].传感技术学报,2022,35(9):P.1167-1173,7.

基金项目

国家重点研发计划支持项目(2020YFB2009102)。 （2020YFB2009102）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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