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极紫外-真空紫外光学薄膜元件的研究进展

齐润泽张锦龙黄秋实张众王占山

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2639-2654,16.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2639-2654,16.DOI:10.37188/OPE.20223021.2639

齐润泽 ¹张锦龙 ¹黄秋实 ¹张众 ¹王占山¹

作者信息

1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
折叠

极紫外-真空紫外/薄膜元件/均匀性/窄带宽/稳定性/高反射效率

数理科学

齐润泽,张锦龙,黄秋实,张众,王占山..极紫外-真空紫外光学薄膜元件的研究进展[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2639-2654,16.

中国科学院战略性先导科技专项(No.XDA15018400) （No.XDA15018400）

国家自然科学基金资助项目(No.12003016) （No.12003016）

上海市教育委员会创新计划资助项目(No.2017-01-07-00-07-E00063)。（No.2017-01-07-00-07-E00063）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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