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自溯源光栅标准物质及其应用

邓晓李同保程鑫彬

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2608-2625,18.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2608-2625,18.DOI:10.37188/OPE.20223021.2608

邓晓 ¹李同保 ¹程鑫彬¹

作者信息

1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
折叠

纳米科技/纳米计量/自溯源标准物质/原子光刻技术/软X射线干涉光刻技术/多层膜沉积技术

通用工业技术

邓晓,李同保,程鑫彬..自溯源光栅标准物质及其应用[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2608-2625,18.

国家自然科学基金面上项目(No.62075165) （No.62075165）

上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重大项目(No.ZJ2021-ZD-008)。（No.ZJ2021-ZD-008）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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