光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2568-2590,23.DOI:10.37188/OPE.20223021.2568
纳秒激光薄膜损伤机理和应用研究
摘要
关键词
激光薄膜/激光损伤/节瘤/人工缺陷/电场增强分类
数理科学引用本文复制引用
程鑫彬,焦宏飞,张锦龙,钮信尚,马彬,沈正祥,王占山..纳秒激光薄膜损伤机理和应用研究[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2568-2590,23.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61975155,No.62061136008,No.62275196) （No.61975155,No.62061136008,No.62275196）
上海市科学技术委员会科技计划项目(No.20JC1414600,No.21JC1406100) （No.20JC1414600,No.21JC1406100）
上海市级科技重大专项-人工智能基础理论与关键核心技术(No.2021SHZDZX0100) （No.2021SHZDZX0100）
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目。 （）
