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薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤

李文斌李淑慧潘刘洋张哲谢春黄秋实王占山

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2698-2710,13.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2698-2710,13.DOI:10.37188/OPE.20223021.2698

李文斌 ¹李淑慧 ¹潘刘洋 ¹张哲 ¹谢春 ²黄秋实 ¹王占山¹

作者信息

1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
2. 同济大学中德工程学院,上海200092
折叠

极紫外/薄膜反射镜/抗损伤性能/损伤机制

数理科学

李文斌,李淑慧,潘刘洋,张哲,谢春,黄秋实,王占山..薄膜反射镜纳秒极紫外辐照损伤[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2698-2710,13.

国家自然科学基金资助项目(No.11875203,No.61621001)。（No.11875203,No.61621001）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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