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极紫外正入射光学系统研究进展

张哲伊圣振黄秋实陈晟昊李文斌张众王占山

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2678-2687,10.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2678-2687,10.DOI:10.37188/OPE.20223021.2678

张哲 ¹伊圣振 ¹黄秋实 ¹陈晟昊 ¹李文斌 ¹张众 ¹王占山¹

作者信息

1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
折叠

极紫外/多层膜/Schwarzschild系统/等离子体诊断/成像系统/聚焦系统

机械制造

张哲,伊圣振,黄秋实,陈晟昊,李文斌,张众,王占山..极紫外正入射光学系统研究进展[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2678-2687,10.

国家重点研发计划资助项目(No.2019YFE03080200) （No.2019YFE03080200）

国家自然科学基金资助项目(No.11805212)。（No.11805212）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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