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极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测

余俊王占山黄秋实张众沈正祥焦宏飞盛鹏峰夏菁菁王一凡

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2688-2697,10.

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2688-2697,10.DOI:10.37188/OPE.20223021.2688

余俊 ¹王占山 ¹黄秋实 ¹张众 ¹沈正祥 ¹焦宏飞 ¹盛鹏峰 ¹夏菁菁 ¹王一凡¹

作者信息

1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
折叠

超精密加工/极紫外/X射线/反射镜基底/非球面元件/绝对检测

机械制造

余俊,王占山,黄秋实,张众,沈正祥,焦宏飞,盛鹏峰,夏菁菁,王一凡..极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2688-2697,10.

国家重点研发计划资助项目(No.2019YFE03080200) （No.2019YFE03080200）

国家自然科学基金资助项目(No.62105244)。（No.62105244）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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