光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2655-2677,23.DOI:10.37188/OPE.20223021.2655
超低损耗激光薄膜的散射与机械损耗
摘要
关键词
激光薄膜/界面散射/节瘤缺陷/机械损耗分类
通用工业技术引用本文复制引用
张锦龙,王富美,方圣欢,焦宏飞,程鑫彬,王占山..超低损耗激光薄膜的散射与机械损耗[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2655-2677,23.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61975155,No.62061136008) （No.61975155,No.62061136008）
上海市科学技术委员会科技计划项目(No.20JC1414600,No.21JC1406100) （No.20JC1414600,No.21JC1406100）
上海市级科技重大专项-人工智能基础理论与关键核心技术(No.2021SHZDZX0100) （No.2021SHZDZX0100）
中央高校基本科研业务费专项资金。 （）
