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高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展

黄秋实 齐润泽 张哲 李文斌 蒋励 张云学 庄野琪 张众 王占山

光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2793-2804,12.
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光学精密工程2022，Vol.30Issue(21)：P.2793-2804,12.DOI:10.37188/OPE.20223021.2793

高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展

黄秋实 1齐润泽 1张哲 1李文斌 1蒋励 1张云学 1庄野琪 1张众 1王占山1

作者信息

  • 1. 同济大学物理科学与工程学院,先进微结构材料教育部重点实验室,精密光学工程技术研究所,上海200092
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摘要

关键词

X射线多层膜/反射率/大尺寸反射元件/多层光栅

分类

数理科学

引用本文复制引用

黄秋实,齐润泽,张哲,李文斌,蒋励,张云学,庄野琪,张众,王占山..高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展[J].光学精密工程,2022,30(21):P.2793-2804,12.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.12075170) （No.12075170）

上海市青年科技启明星计划项目(No.19QA1409200)。 （No.19QA1409200）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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