表面技术2022，Vol.51Issue(11)：P.174-185,12.
辅助阳极在电弧离子镀和磁控溅射技术中的应用和研究进展
赵栋才 1邱家稳 2肖更竭 3张子扬1
作者信息
- 1. 安徽工业大学先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验室,安徽马鞍山243002
- 2. 中国空间技术研究院,北京100094
- 3. 兰州空间技术物理研究所,兰州730000
- 折叠
摘要
关键词
辅助阳极/电弧离子镀/磁控溅射/离化率/大颗粒过滤分类
矿业与冶金引用本文复制引用
赵栋才,邱家稳,肖更竭,张子扬..辅助阳极在电弧离子镀和磁控溅射技术中的应用和研究进展[J].表面技术,2022,51(11):P.174-185,12.
