太阳能Issue(11)：P.22-33,12.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20210927.03
面向TOPCon晶体硅太阳电池产业应用的管式PECVD装备及其配套技术分析
摘要
关键词
光伏发电/晶体硅太阳电池/隧穿氧化硅钝化接触/管式PECVD分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
曾俞衡,陈晖,张文博,程海良,廖明墩,谢利华,李旺鹏,刘景博,张青山,刘伟,王玉明,闫宝杰,叶继春..面向TOPCon晶体硅太阳电池产业应用的管式PECVD装备及其配套技术分析[J].太阳能,2022,(11):P.22-33,12.基金项目
国家自然科学基金(61974178) （61974178）
中科院青年促进会项目(2018333) （2018333）
浙江省自然科学基金(LY19F040002) （LY19F040002）
国家重点研发计划(2018YFB1500403) （2018YFB1500403）
宁波市“科技创新2025”重大专项(2020Z098) （2020Z098）
浙江省重点研发计划(2021C01006) （2021C01006）
2021年辽宁省首批揭榜挂帅科技攻关项目 （）
江苏省科技副总项目(FZ20200358)。 （FZ20200358）
