佛山科学技术学院学报：自然科学版2022，Vol.40Issue(6)：P.34-41,8.
退火温度对铌掺杂氧化铟透明薄膜性能的影响
摘要
关键词
磁控溅射/InNbO/透明薄膜/退火处理/透过率分类
数理科学引用本文复制引用
林剑荣,梁瑞斌,彭璟怡,陈建文,肖鹏..退火温度对铌掺杂氧化铟透明薄膜性能的影响[J].佛山科学技术学院学报：自然科学版,2022,40(6):P.34-41,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61804029) （61804029）
广东省科技计划项目(2022A0505020022) （2022A0505020022）
粤港澳智能微纳光电技术联合实验室资助项目(2020B1212030010)。 （2020B1212030010）
