佛山科学技术学院学报：自然科学版2022，Vol.40Issue(6)：P.1-6,6.
基于光电化学刻蚀的GaN微纳加工研究
摘要
关键词
光电化学刻蚀/GaN/微纳加工/纳米孔分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
麦满芳,杜亮,刘国华,朱传云..基于光电化学刻蚀的GaN微纳加工研究[J].佛山科学技术学院学报：自然科学版,2022,40(6):P.1-6,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11504242) （11504242）
广东省教育厅特色创新资助项目(2020KTSCX131) （2020KTSCX131）
粤港澳智能微纳光电技术联合实验室资助(2020B1212030010)。 （2020B1212030010）
