自动化学报2022，Vol.48Issue(11)：P.2688-2702,15.DOI:10.16383/j.aas.c190857
基于堆叠降噪自编码器的神经–符号模型及在晶圆表面缺陷识别
摘要
关键词
晶圆表面缺陷/深度学习/堆叠降噪自编码器/符号规则/知识发现分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘国梁,余建波..基于堆叠降噪自编码器的神经–符号模型及在晶圆表面缺陷识别[J].自动化学报,2022,48(11):P.2688-2702,15.基金项目
国家自然科学基金(71771173)资助。 （71771173）
