基于堆叠降噪自编码器的神经–符号模型及在晶圆表面缺陷识别OA北大核心CSCDCSTPCD

深度神经网络是具有复杂结构和多个非线性处理单元的模型,通过模块化的方式分层从数据提取代表性特征,已经在晶圆缺陷识别领域得到了较为广泛的应用.但是,深度神经网络在应用过程中本身存在“黑箱”和过度依赖数据的问题,显著地影响深度神经网络在晶圆缺陷识别的工业可应用性.提出一种基于堆叠降噪自编码器的神经–符号模型.首先,根据堆叠降噪自编码器的网络特点采用了一套符号规则系统,规则形式和组成结构使其可与深度神经网络有效融合.其次,根据网络和符号规则之间的关联性…查看全部>>