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机械磨抛对CdZnTe薄膜阻变特性的影响

孔帅 吴敏 聂凡 曾冬梅

人工晶体学报2022,Vol.51Issue(11):P.1878-1883,6.
人工晶体学报2022,Vol.51Issue(11):P.1878-1883,6.

机械磨抛对CdZnTe薄膜阻变特性的影响

孔帅 1吴敏 1聂凡 1曾冬梅1

作者信息

  • 1. 北京石油化工学院新材料与化工学院,北京102617
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摘要

关键词

CdZnTe/磁控溅射/机械磨抛/粗糙度/表面缺陷/阻变特性/再结晶

分类

信息技术与安全科学

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孔帅,吴敏,聂凡,曾冬梅..机械磨抛对CdZnTe薄膜阻变特性的影响[J].人工晶体学报,2022,51(11):P.1878-1883,6.

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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