人工晶体学报2022,Vol.51Issue(11):P.1878-1883,6.
机械磨抛对CdZnTe薄膜阻变特性的影响
孔帅 1吴敏 1聂凡 1曾冬梅1
作者信息
- 1. 北京石油化工学院新材料与化工学院,北京102617
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摘要
关键词
CdZnTe/磁控溅射/机械磨抛/粗糙度/表面缺陷/阻变特性/再结晶分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孔帅,吴敏,聂凡,曾冬梅..机械磨抛对CdZnTe薄膜阻变特性的影响[J].人工晶体学报,2022,51(11):P.1878-1883,6.