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溅射羽辉与基底夹角对掺氧二硫化钼薄膜光学性质的影响

赵子楠 武金涛 梁智健 朱亚彬 刘歌 陈云琳

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(11)：P.1871-1877,7.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(11)：P.1871-1877,7.

溅射羽辉与基底夹角对掺氧二硫化钼薄膜光学性质的影响

赵子楠 1武金涛 1梁智健 1朱亚彬 1刘歌 2陈云琳2

作者信息

  • 1. 北京交通大学物理科学与工程学院,物理系,北京100044
  • 2. 北京交通大学物理科学与工程学院,微纳材料及应用研究所,北京100044
  • 折叠

摘要

关键词

掺氧二硫化钼/氧气辅助技术/磁控溅射/羽辉/透过率/光学带隙/COMSOL

分类

数理科学

引用本文复制引用

赵子楠,武金涛,梁智健,朱亚彬,刘歌,陈云琳..溅射羽辉与基底夹角对掺氧二硫化钼薄膜光学性质的影响[J].人工晶体学报,2022,51(11):P.1871-1877,7.

基金项目

国家大学生创新训练计划(2101700066)。 （2101700066）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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