人工晶体学报2022,Vol.51Issue(11):P.1815-1822,8.
利用Al/AlAs中间层调控GaAs在Si(111)上外延生长的研究
摘要
关键词
分子束外延/Ⅲ-V族半导体/硅基砷化镓/异质外延/硅基集成分类
数理科学引用本文复制引用
常梦琳,樊星,张微微,姚金山,潘睿,李晨,芦红..利用Al/AlAs中间层调控GaAs在Si(111)上外延生长的研究[J].人工晶体学报,2022,51(11):P.1815-1822,8.基金项目
国家重点研发计划(2018YFA0306200,2017YFA0303702) (2018YFA0306200,2017YFA0303702)
国家自然科学基金(51732006,11890702,51721001)。 (51732006,11890702,51721001)