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利用Al/AlAs中间层调控GaAs在Si(111)上外延生长的研究

常梦琳 樊星 张微微 姚金山 潘睿 李晨 芦红

人工晶体学报2022,Vol.51Issue(11):P.1815-1822,8.
人工晶体学报2022,Vol.51Issue(11):P.1815-1822,8.

利用Al/AlAs中间层调控GaAs在Si(111)上外延生长的研究

常梦琳 1樊星 1张微微 1姚金山 1潘睿 1李晨 2芦红2

作者信息

  • 1. 南京大学固体微结构物理国家重点实验室,南京210093 南京大学现代工程与应用科学学院,南京210023
  • 2. 南京大学固体微结构物理国家重点实验室,南京210093 南京大学现代工程与应用科学学院,南京210023 江苏省功能材料设计原理与应用技术重点实验室,南京210023
  • 折叠

摘要

关键词

分子束外延/Ⅲ-V族半导体/硅基砷化镓/异质外延/硅基集成

分类

数理科学

引用本文复制引用

常梦琳,樊星,张微微,姚金山,潘睿,李晨,芦红..利用Al/AlAs中间层调控GaAs在Si(111)上外延生长的研究[J].人工晶体学报,2022,51(11):P.1815-1822,8.

基金项目

国家重点研发计划(2018YFA0306200,2017YFA0303702) (2018YFA0306200,2017YFA0303702)

国家自然科学基金(51732006,11890702,51721001)。 (51732006,11890702,51721001)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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