光通信技术2022，Vol.46Issue(6)：P.6-9,4.
一种CMOS工艺兼容的高效氮化硅表面光栅耦合器
摘要
关键词
表面光栅耦合器/耦合效率/集成光子器件/光学设计与制造分类
数理科学引用本文复制引用
韩风阳,王凌华,张雅珍,黄继伟..一种CMOS工艺兼容的高效氮化硅表面光栅耦合器[J].光通信技术,2022,46(6):P.6-9,4.基金项目
国家自然科学基金项目(61405198)资助 （61405198）
福建省教育厅项目(JAT190012)资助 （JAT190012）
福建省自然科学基金项目(2020J01467)资助。 （2020J01467）
