机电工程技术2022，Vol.51Issue(10)：P.72-74,94,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2022.10.017
基于微电铸与键合工艺的纳米尖端电射流打印头的制备
摘要
关键词
各向异性刻蚀/微电铸/键合/电射流打印分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
辛文文,王华安,朱龙,宿世界,李晓建,梁军生..基于微电铸与键合工艺的纳米尖端电射流打印头的制备[J].机电工程技术,2022,51(10):P.72-74,94,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(编号:51675085)。 （编号:51675085）
