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Bi_(2)O_(3)/B_(2)O_(3)比及β-锂霞石粉对MEMS封接玻璃结构与性能的影响

王巍巍 李金威 曹欣 杨小菲 仲召进 倪嘉

硅酸盐通报2022，Vol.41Issue(11)：P.3990-3996,4002,8.
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硅酸盐通报2022，Vol.41Issue(11)：P.3990-3996,4002,8.

Bi_(2)O_(3)/B_(2)O_(3)比及β-锂霞石粉对MEMS封接玻璃结构与性能的影响

王巍巍 1李金威 1曹欣 1杨小菲 2仲召进 1倪嘉1

作者信息

  • 1. 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司浮法玻璃新技术国家重点实验室,蚌埠233000 硅基材料安徽省实验室,蚌埠233000
  • 2. 安徽凯盛基础材料科技有限公司,蚌埠233000
  • 折叠

摘要

关键词

微机电系统/封接玻璃粉/低熔点玻璃/β-锂霞石粉/热膨胀系数/封接温度

分类

化学化工

引用本文复制引用

王巍巍,李金威,曹欣,杨小菲,仲召进,倪嘉..Bi_(2)O_(3)/B_(2)O_(3)比及β-锂霞石粉对MEMS封接玻璃结构与性能的影响[J].硅酸盐通报,2022,41(11):P.3990-3996,4002,8.

基金项目

国家重点研发计划项目(2021YFB3501103) （2021YFB3501103）

安徽省重点研究和开发计划项目(202004a05020036,2022a05020026)。 （202004a05020036,2022a05020026）

硅酸盐通报

OA北大核心CSTPCD

1001-1625

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