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基于MEMS的航空压力传感器结构力学分析

何毓铭 徐雅洁 朱江 李述林

航空科学技术2022,Vol.33Issue(11):41-49,9.
航空科学技术2022,Vol.33Issue(11):41-49,9.DOI:10.19452/j.issn1007-5453.2022.11.006

基于MEMS的航空压力传感器结构力学分析

Structural Mechanics Analysis on Aviation Pressure Sensor Based on MEMS

何毓铭 1徐雅洁 1朱江 2李述林1

作者信息

  • 1. 航空工业南京机电液压工程研究中心,江苏 南京 211100
  • 2. 中国空军试飞局,陕西西安710000
  • 折叠

摘要

关键词

非局部理论/尺度效应/MEMS/压力传感器/应力驱动

分类

数理科学

引用本文复制引用

何毓铭,徐雅洁,朱江,李述林..基于MEMS的航空压力传感器结构力学分析[J].航空科学技术,2022,33(11):41-49,9.

航空科学技术

1007-5453

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