机电工程技术2022，Vol.51Issue(11)：174-177,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2022.11.042
基于ALN压电层的声表面波温度传感器仿真与试验研究
Simulation and Experimental Study of SAW Temperature Sensor Based on ALN Piezoelectric Layer
摘要
关键词
温度检测/声表面波温度传感器/温度频率系数/COMSOL仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
曹森,赵祉澎,刘志春,孙宏毅,陈锦斌,于晓梅,梁军生..基于ALN压电层的声表面波温度传感器仿真与试验研究[J].机电工程技术,2022,51(11):174-177,4.基金项目
航空科学基金资助项目(编号:2019ZD063001) （编号:2019ZD063001）
