基于ALN压电层的声表面波温度传感器仿真与试验研究OA
Simulation and Experimental Study of SAW Temperature Sensor Based on ALN Piezoelectric Layer
传统的声表面波(SAW)温度传感器仍存在测温范围小、灵敏度低的问题,为满足对工业生产、航空航天等高温环境下的温度检测,采用了在高温下仍能保持良好压电性的ALN薄膜,确定传感器的结构为叉指换能器(IDT)/ALN/Sapphire.为了得到较高温度频率系数(TCF),进行建模仿真和计算对比,并利用激发的瑞利波模态对温度进行感知标定.分析了不同压电层厚度、金属化比率、叉指电极厚度对激发的瑞利波波速和机电耦合系数的影响,并讨论了TCF值与压电层厚度的关…查看全部>>
曹森;赵祉澎;刘志春;孙宏毅;陈锦斌;于晓梅;梁军生
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024
信息技术与安全科学
温度检测声表面波温度传感器温度频率系数COMSOL仿真
《机电工程技术》 2022 (11)
174-177,4
航空科学基金资助项目(编号:2019ZD063001)
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