液晶与显示2022，Vol.37Issue(12)：1553-1560,8.DOI:10.37188/CJLCD.2022-0276
高分辨率主动驱动型氮化镓基Micro-LED芯片的制备
Fabrication of high-resolution active matrix driven GaN-based Micro-LED chips
摘要
关键词
Micro-LED/高分辨率/倒装芯片/刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄铭水,严群,郭太良,聂君扬,刘明洋,李洋,潘魁,邓俐颖,杨天溪,黄忠航,孙捷..高分辨率主动驱动型氮化镓基Micro-LED芯片的制备[J].液晶与显示,2022,37(12):1553-1560,8.基金项目
福建省科技厅项目(No.2021HZ0114,No.2021J01583,No.2021L3004) （No.2021HZ0114,No.2021J01583,No.2021L3004）
中国福建光电信息科学与技术创新实验室项目(No.2021ZZ122,No.2020ZZ110) （No.2021ZZ122,No.2020ZZ110）
国家重点研发计划(No.2021YFB3600104) （No.2021YFB3600104）
