中国科技成果2022，Vol.23Issue(22)：4-5,2.DOI:10.3772/j.issn.1009-5659.2022.22.004
12吋全自动晶圆测试分析系统
赵智亮 1赵子嘉 2张志华 1颉自强 1王雪竹 1葛瑞红1
作者信息
- 1. 成都太科光电技术有限责任公司,四川 成都 611139
- 2. 西华大学航空航天学院,四川 成都 610039
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赵智亮,赵子嘉,张志华,颉自强,王雪竹,葛瑞红..12吋全自动晶圆测试分析系统[J].中国科技成果,2022,23(22):4-5,2.
