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PECVD法原位渗氮表面改性钛双极板的性能

冯利利 侯玉星 汤思遥 李栓 郑捷 李星国

工程科学学报2023，Vol.45Issue(4)：602-610,9.
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工程科学学报2023，Vol.45Issue(4)：602-610,9.

PECVD法原位渗氮表面改性钛双极板的性能

Evaluating the performances of surface-modified titanium bipolar plates using in situ nitriding by plasma-enhanced chemical vapor deposition

冯利利 1侯玉星 1汤思遥 2李栓 1郑捷 2李星国2

作者信息

  • 1. 中国矿业大学(北京)化学与环境工程学院,北京100083
  • 2. 北京大学化学与分子工程学院,稀土材料化学及应用国家重点实验室,北京分子科学国家实验室,北京100871
  • 折叠

摘要

关键词

钛双极板/表面改性/等离子体增强化学气相沉积/原位渗氮/氮化钛涂层

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

冯利利,侯玉星,汤思遥,李栓,郑捷,李星国..PECVD法原位渗氮表面改性钛双极板的性能[J].工程科学学报,2023,45(4):602-610,9.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(2018YFB1502104,2021YFE0107200) （2018YFB1502104,2021YFE0107200）

越崎学者专项资金资助项目(2020QN11) （2020QN11）

中央高校基本科研业务费资助项目(2022YJSHH20) （2022YJSHH20）

工程科学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

2095-9389

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