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反应磁控溅射制备CrN涂层的热稳定性

金玉花 程融 柴利强 张学希 王鹏

表面技术2022，Vol.51Issue(12)：82-90,108,10.
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表面技术2022，Vol.51Issue(12)：82-90,108,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.12.007

反应磁控溅射制备CrN涂层的热稳定性

Thermal Stability of CrN Coatings Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

金玉花 1程融 1柴利强 2张学希 2王鹏2

作者信息

  • 1. 兰州理工大学 省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室,兰州 730050
  • 2. 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,兰州 730000
  • 折叠

摘要

关键词

CrN涂层/反应磁控溅射/热稳定性/氧化行为/释放/扩散阻挡

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

金玉花,程融,柴利强,张学希,王鹏..反应磁控溅射制备CrN涂层的热稳定性[J].表面技术,2022,51(12):82-90,108,10.

基金项目

国家自然科学基金(51865028) （51865028）

国家自然科学基金青年项目(52005483) （52005483）

表面技术

OA北大核心

1001-3660

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