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双离子束溅射Al2O3高温绝缘薄膜的氧分压研究

闫博 黄漫国 郭林琪 梁晓波 张丛春

测控技术2022，Vol.41Issue(12)：8-12,35,6.
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测控技术2022，Vol.41Issue(12)：8-12,35,6.DOI:10.19708/j.ckjs.2022.01.210

双离子束溅射Al2O3高温绝缘薄膜的氧分压研究

Study on Dual Ion Beam Sputtering Oxygen Partial Pressure of Al2O3 High Temperature Resistant Insulating Thin Film

闫博 1黄漫国 2郭林琪 3梁晓波 1张丛春2

作者信息

  • 1. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240
  • 2. 航空工业北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心,北京 101111
  • 3. 状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京 101111
  • 折叠

摘要

关键词

双离子束溅射沉积法/Al2O3薄膜/高温绝缘/溅射氧分压/氧铝元素比

分类

航空航天

引用本文复制引用

闫博,黄漫国,郭林琪,梁晓波,张丛春..双离子束溅射Al2O3高温绝缘薄膜的氧分压研究[J].测控技术,2022,41(12):8-12,35,6.

基金项目

国家重点研发计划(2020YFB200102) （2020YFB200102）

国家基础研究项目(2019-JCJQ-ZD-309) （2019-JCJQ-ZD-309）

测控技术

1000-8829

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