测试技术学报2023，Vol.37Issue(1)：5-10,17,7.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2023.01.002
微半球壳谐振子高温吹制工艺仿真及形貌影响机理研究
High-Temperature Blowing Process Simulation and Study on Shape Influence Mechanism of Micro-Hemispheric Shell Harmonic Oscillator
摘要
关键词
微半球壳/MEMS陀螺仪/高温吹制工艺/工艺仿真分类
航空航天引用本文复制引用
高阳,丁徐锴,张含,孟琳..微半球壳谐振子高温吹制工艺仿真及形貌影响机理研究[J].测试技术学报,2023,37(1):5-10,17,7.基金项目
江苏省自然科学基金资助项目(BK20201042) （BK20201042）
南京工程学院高层次人才引进启动基金资助项目(YKJ201866) （YKJ201866）
国家自然科学基金资助项目(61903183) （61903183）
