机电工程技术2022，Vol.51Issue(12)：69-72,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2022.12.016
基于MZI光开关上应力相移器的制备与性能研究
Fabrication and Performance of Stress Phase Shifter Based on MZI Optical Switch
杨帆 1崔岩 1王子祥 1于昊 1梁宇鑫2
作者信息
- 1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连 116024
- 2. 重庆联合微电子中心有限责任公司,重庆 400030
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摘要
关键词
应力相移器/PZT薄膜/金属保护层分类
通用工业技术引用本文复制引用
杨帆,崔岩,王子祥,于昊,梁宇鑫..基于MZI光开关上应力相移器的制备与性能研究[J].机电工程技术,2022,51(12):69-72,4.
