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单晶硅超精密切削工艺参数优化与实验研究

姚同 杨晓京 肖建国 张万清 康杰

宇航材料工艺2022，Vol.52Issue(6)：60-64,5.
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宇航材料工艺2022，Vol.52Issue(6)：60-64,5.DOI:10.12044/j.issn.1007-2330.2022.06.008

单晶硅超精密切削工艺参数优化与实验研究

Experimental Investigations on the Ultra Precision Cutting of Single-crystal Silicon for Optimal Process Parameters

姚同 1杨晓京 1肖建国 2张万清 2康杰2

作者信息

  • 1. 昆明理工大学 机电工程学院,昆明 650500
  • 2. 云南北方光学科技有限公司,昆明 650200
  • 折叠

摘要

关键词

单晶硅/单点金刚石车削/切削参数/表面粗糙度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

姚同,杨晓京,肖建国,张万清,康杰..单晶硅超精密切削工艺参数优化与实验研究[J].宇航材料工艺,2022,52(6):60-64,5.

基金项目

国家自然科学基金(51765027) （51765027）

宇航材料工艺

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2330

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