云南化工2022，Vol.49Issue(12)：24-26,31,4.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2022.12.08
蚀刻液组成对薄膜晶体管线路蚀刻性能的影响
Influence of Mixed Etching Solution Composition on Etching Performance of Thin Film Transistor Circuits
林钢 1陈远明 2张汉焱 2谢泽雄2
作者信息
- 1. 广东汕头超声电子股份有限公司,广东 汕头 515041
- 2. 汕头超声显示器技术有限公司,广东 汕头 515041
- 折叠
摘要
关键词
蚀刻速率/MoNb薄膜/AlNd薄膜/金属蚀刻液/晶体管线路分类
矿业与冶金引用本文复制引用
林钢,陈远明,张汉焱,谢泽雄..蚀刻液组成对薄膜晶体管线路蚀刻性能的影响[J].云南化工,2022,49(12):24-26,31,4.
