物理学报2022，Vol.71Issue(24)：P.113-135,23.DOI:10.7498/aps.71.20221462
功能化原子力显微镜在纳米电介质材料性能研究中的应用进展
孟菁饴 1卢红伟 2马世乐 1张嘉奇 1何富民 1苏伟涛 1赵晓东 2田婷 1王翼 1邢誉3
作者信息
- 1. 杭州电子科技大学理学院,杭州310018
- 2. 杭州电子科技大学理学院,杭州310018 杭州电子科技大学海宁研究院,海宁314408
- 3. 杭州电子科技大学海宁研究院,海宁314408
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摘要
关键词
原子力显微镜/纳米电介质/界面/介电性能分类
通用工业技术引用本文复制引用
孟菁饴,卢红伟,马世乐,张嘉奇,何富民,苏伟涛,赵晓东,田婷,王翼,邢誉..功能化原子力显微镜在纳米电介质材料性能研究中的应用进展[J].物理学报,2022,71(24):P.113-135,23.
