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微波谐振腔低气压放电等离子体反应动力学过程

陈泽煜 彭玉彬 王瑞 贺永宁 崔万照

物理学报2022，Vol.71Issue(24)：P.136-145,10.
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物理学报2022，Vol.71Issue(24)：P.136-145,10.DOI:10.7498/aps.71.20221385

微波谐振腔低气压放电等离子体反应动力学过程

陈泽煜 1彭玉彬 2王瑞 3贺永宁 2崔万照3

作者信息

  • 1. 中国空间技术研究院西安分院,空间微波技术重点实验室,西安710000 西安交通大学微电子学院,西安710049
  • 2. 西安交通大学微电子学院,西安710049
  • 3. 中国空间技术研究院西安分院,空间微波技术重点实验室,西安710000
  • 折叠

摘要

关键词

航天器微波部件/射频低气压放电/等离子体/发射光谱

分类

航空航天

引用本文复制引用

陈泽煜,彭玉彬,王瑞,贺永宁,崔万照..微波谐振腔低气压放电等离子体反应动力学过程[J].物理学报,2022,71(24):P.136-145,10.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:61901361)资助的课题。 （批准号:61901361）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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