物理学报2022，Vol.71Issue(24)：P.446-456,11.DOI:10.7498/aps.71.20221569
超大面积超导纳米线阵列单光子探测器设计与制备
摘要
关键词
超导纳米线单光子探测器/阵列器件/工艺优化/平面隔离层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张笑,吕嘉煜,管焰秋,李慧,王锡明,张蜡宝,王昊,涂学凑,康琳,贾小氢,赵清源,陈健,吴培亨..超大面积超导纳米线阵列单光子探测器设计与制备[J].物理学报,2022,71(24):P.446-456,11.基金项目
广东省重点领域研究与发展计划(批准号:2020B030302001) （批准号:2020B030302001）
国家自然科学基金(批准号:12033002,62101240,62071218,6207121461801206,11227904) （批准号:12033002,62101240,62071218,6207121461801206,11227904）
国家重点研发计划(批准号:2017YFA0304002) （批准号:2017YFA0304002）
江苏省自然科学基金(批准号:BK202010177)资助的课题。 （批准号:BK202010177）
