自动化与信息工程2022，Vol.43Issue(6)：41-45,51,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-2605.2022.06.007
碳化硅外延设备控制系统
Control System for SiC Epitaxy Equipment
摘要
关键词
碳化硅/外延设备/多总线/模块化/控制系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
盛飞龙,钟新华,王鑫,伍三忠,戴科峰,仇礼钦..碳化硅外延设备控制系统[J].自动化与信息工程,2022,43(6):41-45,51,6.基金项目
季华实验室基金项目(X210241TC210) （X210241TC210）
