计量学报2022，Vol.43Issue(12)：1544-1548,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.12.03
用于扫描电子显微镜校准的10 μm格栅样板
10 pm Lattice Sample for Scanning Electron Microscope Calibration
张晓东 1赵琳 1李锁印 1韩志国 1许晓青 1吴爱华1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
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摘要
关键词
计量学/格栅样板/扫描电子显微镜/矩形检测算法/原子力显微镜/校准分类
通用工业技术引用本文复制引用
张晓东,赵琳,李锁印,韩志国,许晓青,吴爱华..用于扫描电子显微镜校准的10 μm格栅样板[J].计量学报,2022,43(12):1544-1548,5.
