计量学报2022，Vol.43Issue(12)：1549-1553,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.12.04
基于多层膜沉积的循迹式线宽标准样片
Tracking Type Line Width Standard Sample Based on Multilayer Film Deposition
摘要
关键词
计量学/线宽标准/关键尺寸/多层膜沉积/循迹标记分类
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赵琳,韩志国,张晓东,许晓青,李锁印,吴爱华..基于多层膜沉积的循迹式线宽标准样片[J].计量学报,2022,43(12):1549-1553,5.基金项目
国防技术基础计量项目(JSJL2019210B004) （JSJL2019210B004）
