西北师范大学学报（自然科学版）2022，Vol.58Issue(5)：34-41,62,9.DOI:10.16783/j.cnki.nwnuz.2022.05.006
6～50MHz射频容性耦合Ar等离子体的放电特性
The discharge characteristics of 6～50 MHz RF capacitively coupled Ar plasma
摘要
关键词
容性耦合放电/PIC/MCC模拟/电子能量分布函数分类
数理科学引用本文复制引用
袁强华,秦彪,殷桂琴,刘朝晖..6～50MHz射频容性耦合Ar等离子体的放电特性[J].西北师范大学学报（自然科学版）,2022,58(5):34-41,62,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(12165019) （12165019）
甘肃省自然科学基金资助项目(20JR10RA078) （20JR10RA078）
