材料科学与工程学报2022，Vol.40Issue(6)：961-968,8.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2022.06.008
沉积温度和氢气浓度对CVD法合成Ti3SiC2涂层的影响
Effects of Deposition Temperature and Hydrogen Concentration on the Synthesis of Ti3SiC2 Coatings
摘要
关键词
CVD/Ti3SiC2涂层/沉积温度/氢气浓度/前驱体反应路径分类
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朱界,茅思佳,刘瑶瑶,王梦千,李爱军,彭雨晴..沉积温度和氢气浓度对CVD法合成Ti3SiC2涂层的影响[J].材料科学与工程学报,2022,40(6):961-968,8.基金项目
国家自然基金资助项目(21676163) （21676163）
上海市自然基金资助项目(20ZR1419600) （20ZR1419600）
