人工晶体学报2022，Vol.51Issue(12)：2014-2021,8.
5英寸锑化铟晶片加工及表征
Processing and Characterization of 5 Inch InSb Wafer
赵超 1李聪聪 1孔忠弟 1董涛 1吴卿 1折伟林 1王小龙 1徐鹏艳 1李乾 1李达1
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摘要
关键词
锑化铟/5英寸/晶片/加工/高质量/红外探测器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵超,李聪聪,孔忠弟,董涛,吴卿,折伟林,王小龙,徐鹏艳,李乾,李达..5英寸锑化铟晶片加工及表征[J].人工晶体学报,2022,51(12):2014-2021,8.
