人工晶体学报2022，Vol.51Issue(12)：2031-2039,2062,10.
基于NARX动态神经网络直拉硅单晶直径预测模型
Prediction Model of Diameter of Czochralski Silicon Single Crystal Based on NARX Dynamic Neural Network
摘要
关键词
硅单晶/直径辨识/非线性自回归/BP神经网络/直拉法/数据驱动分类
数理科学引用本文复制引用
徐圣哲,高德东,王珊,吴昊昊,张西亚,韩永龙,李丽荣..基于NARX动态神经网络直拉硅单晶直径预测模型[J].人工晶体学报,2022,51(12):2031-2039,2062,10.基金项目
青海省科技厅应用基础研究项目(2022-ZJ-768) （2022-ZJ-768）
西宁市科技计划项目(2021-Y-01) （2021-Y-01）
