人工晶体学报2022，Vol.51Issue(12)：2040-2047,2062,9.
β-Ga2O3晶体金刚石线锯切割的表面质量研究
Study on Surface Quality of β-Ga2O3 Crystal Cut by Diamond Wire Saw
李晖 1高鹏程 1程红娟 1王英民 1高飞 1张弛 1王磊1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220
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摘要
关键词
β-Ga2O3晶片/金刚石线锯/切割方向/亚表面损伤层/表面粗糙度分类
化学化工引用本文复制引用
李晖,高鹏程,程红娟,王英民,高飞,张弛,王磊..β-Ga2O3晶体金刚石线锯切割的表面质量研究[J].人工晶体学报,2022,51(12):2040-2047,2062,9.
