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退火条件对磁控溅射MgO-Ag3Sb-Sb2O4柔性薄膜热电性能的影响

刘丹 赵亚欣 郭锐 刘艳涛 张志东 张增星 薛晨阳

无机材料学报2022，Vol.37Issue(12)：1302-1310,9.
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无机材料学报2022，Vol.37Issue(12)：1302-1310,9.DOI:10.15541/jim20220107

退火条件对磁控溅射MgO-Ag3Sb-Sb2O4柔性薄膜热电性能的影响

Effect of Annealing Conditions on Thermoelectric Properties of Magnetron Sputtered MgO-Ag3Sb-Sb2O4 Flexible Films

刘丹 1赵亚欣 1郭锐 1刘艳涛 2张志东 1张增星 1薛晨阳1

作者信息

  • 1. 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 太原030051
  • 2. 西安理工大学 电子工程系, 西安710048
  • 折叠

摘要

关键词

MgAgSb/退火处理/热电性能/柔性薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘丹,赵亚欣,郭锐,刘艳涛,张志东,张增星,薛晨阳..退火条件对磁控溅射MgO-Ag3Sb-Sb2O4柔性薄膜热电性能的影响[J].无机材料学报,2022,37(12):1302-1310,9.

基金项目

国家自然科学基金青年项目(62001428) （62001428）

国家重点研发计划(2019YFB2004800) （2019YFB2004800）

山西省高等学校科技创新项目(2020L0309) （2020L0309）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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