金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(6)：P.720-727,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0043
抛光垫及抛光液对固结磨料抛光氧化镓晶体的影响
摘要
关键词
固结磨料抛光/氧化镓晶体/材料去除率/表面粗糙度/固结磨料抛光垫分类
矿业与冶金引用本文复制引用
吴成,李军,侯天逸,于宁斌,高秀娟..抛光垫及抛光液对固结磨料抛光氧化镓晶体的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(6):P.720-727,8.基金项目
国家自然科学基金联合基金项目(U20A20293) （U20A20293）
国家自然科学基金面上项目(52075318) （52075318）
江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(JXQC-010)。 （JXQC-010）
