菲涅尔衍射光刻

蒋忠君何伟陈经纬罗丹洋杨帆蒋凯王亮

物理学报2023，Vol.72Issue(1)：P.115-122,8.

物理学报2023，Vol.72Issue(1)：P.115-122,8.DOI:10.7498/aps.72.20221533

蒋忠君 ¹何伟 ¹陈经纬 ¹罗丹洋 ¹杨帆 ¹蒋凯 ¹王亮¹

作者信息

菲涅尔衍射/扩束系统/纳米光刻/直写光刻

数理科学

蒋忠君,何伟,陈经纬,罗丹洋,杨帆,蒋凯,王亮..菲涅尔衍射光刻[J].物理学报,2023,72(1):P.115-122,8.

安徽省重点研究与开发计划(批准号:202004A05020077)资助的课题。（批准号:202004A05020077）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-3290

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