激光技术2023，Vol.47Issue(1)：P.25-31,7.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.01.004
Micro-LED蓝宝石衬底AlN上GaN激光剥离研究
张俊 1张为国1
作者信息
- 1. 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203
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摘要
关键词
激光技术/激光剥离/仿真/微型发光二极管/皮秒激光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张俊,张为国..Micro-LED蓝宝石衬底AlN上GaN激光剥离研究[J].激光技术,2023,47(1):P.25-31,7.
